原理：利用流体流动时与热源进行热交换测流量。根据交换方式可分为分布型与浸入型二种型式：1、分布型：绕在管道外的两组电热丝，有加热及检测二个作用，并组成惠斯登电桥。由恒流电源供给恒定热量。当流量为零时，管道内流体温度平衡，电桥无输出；当流体流动时，流体将上游部分热量带给下游，电热丝上的温度失去平衡，上下游电热丝电阻有差异，电桥产生输出电压，其大小正比于流量，流量越大，输出电压也越大，测电压可知流量。2、浸入型：二个热电阻置于管道中，用功率恒定的电加热器，使热电阻温度高于流体的温度。其中一个裸露在气流中，流速的大小与热电阻的散热成正比，⑴可测极低流速，气体可低至0.05m/s；⑵无可动部件，也不存在阻塞问题，工作可靠；⑶由于传热与流体的质量密切相关，所以无需温度、压力补偿，直接测得质量流量；⑷浸入式主要用在大口径，口径范围（40~4000mm），流体限于干燥常温气体（＜200℃）⑸布式主要用于小口径（2~25mm）；小流量(0.15L/M)；⑹对流体的洁净度仍有一定要求，流体如有粘附物，会污染浸入式热敏元件；分布式如有沉淀物，将积于内壁，也会影响测量准确度；⑺要保证必要的准确度必需要较长的前直管段长度，特别是浸入式，前需20～30D，后需5D；⑻响应时间需1～2秒，用于工控系统会恶化调节品质；⑼准确度较低，热分布型1～2%，浸入式3%。应用领域：1、热分布式用于精细制造工艺中微小气体流量测量，如：半导体工业加工工艺、分析仪器、气体色谱仪和环境保护分析仪器中气体的采样流量测量；流程工业、光纤制造、医药保健中的微小气体流量测量；2、浸入式（或称插入式），多用于较大口径，可测量干燥、常温气体极低流速的流量测量；3、微小液体流量测量，多用于精细化工、石油化工、医药、食品工业中的试验性设备，如药液系统中的定流量配比控制，液化气注入的流量控制发展方向1、薄膜型：薄膜型微流量仪表，是在显微机械加工的电子器件，及微机电系统（micro electro mechanical system,简称MEMS），以取代热丝在流量测量上的应用。2、多点插入式：由于大管径内的流速分布极为复杂，测单点的热式流量仪表已无法满足准确度要求，必需采用多点（直线上多点，或截面上多点），这类管道中的流速普遍较低（10～15M/S），从节能减排的需求，市场应有较大的潜力。