近日，EtherCAT 技术协会（ETG）半导体技术工作组（TWG Semi）召开了第二十届 会议，此次在线会议上，工作组不仅完成了既定工作内容，还举办了庆祝活动。自工作组 正式启动会议以来已经历经十年的发展，是时候让我们来回顾一下了。 

在 2011 年的首届会议上，近 100 位行业专家出席了会议，支持 ETG 针对半导体制造行业 的特定需求开发设备行规和实施指南的计划。ETG 执行董事 Martin Rostan 先生当时认为： “有了来自于市场先驱的明确表态和行业的积极支持，半导体行业新的现场总线标准是 EtherCAT——这是毋庸置疑的。” 

十年后，半导体技术工作组现已开发出 16个半导体行业设备行规文件，以及 4个相关的基 础文件。另外还有 9个设备行规正在商议中，接近完成。据统计，自 2011年以来，工作组 仅为在每半年一次的会议上设备行规开发工作投入的精力已超过 22000 人工时。 

这些努力都是值得的，迄今为止，Rostan先生的评价多次得到证实。EtherCAT是半导体行 业的首选协议，被用于如半导体制造机器中。来自 ETG 团队一直伴随半导体技术工作组的 Florian Essler 认为，对于制定标准的广泛支持是获得成功的重要原因：“基于半导体技术 工作组严谨的工作作风，在过去十年里，行规受到市场的广泛接纳。这尤其反映在会议参 与者的数量发展上，同时也表明了我们的设备行规对行业的特殊价值。” 

除制定设备行规工作外，半导体技术工作组的工作中也常常出现新的内容。例如，目前该 工作组正在研究 Safety over EtherCAT 及其在半导体制造机器以及相关设备的功能安全领域 的相关性。此外，工作组在设备自动化验收中集成 EtherCAT 一致性测试工具（CTT）也 非常重要。Florian Essler 确信，随着半导体技术工作组第二十届会议的召开，“积极应对” 作为未来十年的开端，并期待未来的想法，这些想法将在工作组日常事务外进行发展和详 细制定。

近 100 位与会者参加了 2011 年首届半导体技术工作组会议。近日，工作组在第 20 届（在 线）会议上举办了十周年庆典。